1 简介

真空(kong)泵(beng)(beng)是一种旋转式变容真空(kong)泵(beng)(beng)须有(you)(you)前(qian)级泵(beng)(beng)配合方可使(shi)用在较(jiao)宽(kuan)的压力范围内(nei)有(you)(you)较(jiao)大的抽速对(dui)被抽除气体中(zhong)含有(you)(you)灰尘和水蒸汽不敏(min)感(gan)广泛(fan)用于冶金、化(hua)工、食品、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较(jiao)(jiao)宽(kuan)的(de)压力范围(wei)内(nei)有较(jiao)(jiao)大的(de)抽速；

(2)转(zhuan)子具(ju)有(you)良好的几何对称性，故振动小，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子间及转(zhuan)子和壳体间均有(you)间隙，不(bu)用润(run)滑，摩擦损失小，可(ke)大(da)大(da)降低驱动功率，从(cong)而可(ke)实现较高转(zhuan)速(su)；

(3)泵腔内无需(xu)用(yong)油密(mi)封和润(run)滑(hua)，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无(wu)压缩(suo)，无(wu)排气阀。结构(gou)简单(dan)、紧凑，对被抽气体中的灰尘(chen)和水蒸汽不(bu)敏感(gan)；

(5)压缩比较低，对(dui)氢气(qi)抽气(qi)效果差；

(6)转子表面(mian)(mian)为(wei)(wei)形状(zhuang)较为(wei)(wei)复杂(za)的曲(qu)线(xian)柱面(mian)(mian)，加(jia)工(gong)和检查比(bi)较困难。

3 结构

（1） 泵总体结(jie)构(gou)型(xing)式

真空泵的泵体的布置结构决定了(le)泵的总体结构。

立式结构的进、排气(qi)口水平(ping)设置，装配(pei)和(he)连接(jie)管路都比(bi)较(jiao)方便。但泵(beng)的重心较(jiao)高，在高速运转(zhuan)时(shi)稳定性(xing)差，故这(zhei)种型式多用于小泵(beng)。

卧(wo)式泵(beng)的进气口(kou)(kou)在(zai)上，排(pai)气口(kou)(kou)在(zai)下。有时(shi)为了真空系统管道安装连接方便，可将排(pai)气口(kou)(kou)从水(shui)平方向接出，即(ji)进、排(pai)气方向是相互垂直的。此时(shi)，排(pai)气口(kou)(kou)可以从左或右(you)两(liang)个方向开口(kou)(kou)，除接排(pai)气管道一(yi)端外(wai)，另一(yi)端堵死或接旁通阀。这种(zhong)泵(beng)结构重(zhong)心低，高速运转(zhuan)时(shi)稳定性好。一(yi)般(ban)大、中(zhong)型泵(beng)多(duo)采用此种(zhong)结构。

泵的两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)与水平面垂直安(an)装(zhuang)(zhuang)。这种结构装(zhuang)(zhuang)配间隙容易控制，转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)装(zhuang)(zhuang)配方便，泵占地(di)面积(ji)小。但泵重心较高(gao)且齿轮(lun)拆装(zhuang)(zhuang)不便，润滑机(ji)构也相(xiang)对复杂(za)。

（2） 泵的传动方(fang)式

真(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)(de)两(liang)个(ge)(ge)转(zhuan)(zhuan)子是(shi)通(tong)过一对(dui)高精度齿轮(lun)来实现其相对(dui)同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)通(tong)过联轴(zhou)(zhou)(zhou)器与(yu)电机(ji)(ji)联接。在传(chuan)动(dong)(dong)结构(gou)布置上主要有以下(xia)两(liang)种(zhong)：其一是(shi)电动(dong)(dong)机(ji)(ji)与(yu)齿轮(lun)放在转(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)同一侧(ce)如图(tu)。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子由(you)电动(dong)(dong)机(ji)(ji)端齿轮(lun)直接传(chuan)过去带动(dong)(dong)，这(zhei)样主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子轴(zhou)(zhou)(zhou)的(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变(bian)形(xing)小，则两(liang)个(ge)(ge)转(zhuan)(zhuan)子之间的(de)(de)间隙不会因主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)的(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变(bian)形(xing)大而改变(bian)，故使(shi)转(zhuan)(zhuan)子之间的(de)(de)间隙在运转(zhuan)(zhuan)过程(cheng)中均(jun)匀(yun)。这(zhei)种(zhong)传(chuan)动(dong)(dong)方式的(de)(de)最大缺点是(shi)：a.主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)上有三个(ge)(ge)轴(zhou)(zhou)(zhou)承(cheng)，增加(jia)了泵(beng)(beng)的(de)(de)加(jia)工和装配难(nan)度，齿轮(lun)的(de)(de)拆(chai)装及调整(zheng)也不便(bian)；b.整(zheng)体结构(gou)不匀(yun)称，泵(beng)(beng)的(de)(de)重心偏向电动(dong)(dong)机(ji)(ji)和齿轮(lun)箱一侧(ce)。

    极(ji)(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)一个(ge)重(zhong)要参数(shu)，是(shi)(shi)反(fan)应泵(beng)抽(chou)气能(neng)力的(de)特性值(zhi)，是(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一个(ge)数(shu)值(zhi)，不(bu)同(tong)的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有不(bu)同(tong)的(de)“极(ji)(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”度。而“理(li)(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)理(li)(li)论研究时(shi)的(de)一个(ge)概念，是(shi)(shi)排除(chu)各种实际(ji)因(yin)素的(de)影响而提炼出的(de)一种最理(li)(li)想的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器经充分抽(chou)气后(hou)，稳定(ding)在某(mou)一真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器须经12小时(shi)炼气，再经12小时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一个(ge)小时(shi)每隔10分钟测(ce)量一次，取(qu)其10次的(de)平均值(zhi)为极(ji)(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)。